新云超精精密实验室主要以攻克超微细零件,超硬,超脆材料等各种超精密加工难题,对各种复杂零件进行超精密加工工艺研究,并将超精密等级提升到更高的层次。
除了常用的刀具加工工艺,实验室还会采用双光子光刻,灰度光刻,微电铸和微塑铸,短波飞秒激光器加工等多种工艺的组合。
光刻技术



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新云超精精密实验室主要以攻克超微细零件,超硬,超脆材料等各种超精密加工难题,对各种复杂零件进行超精密加工工艺研究,并将超精密等级提升到更高的层次。
除了常用的刀具加工工艺,实验室还会采用双光子光刻,灰度光刻,微电铸和微塑铸,短波飞秒激光器加工等多种工艺的组合。
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